Excimer Laser Annealing Equipment System
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ELA 4.5G-315C-380
Flexible AMOLED 패널용 4.5세대 연구 장비
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Specifications
Laser Model | LSX 315C |
Laser Wavelength | 308nm |
Laser Stabilized Power (Max.) | 315W (1050mJ) |
Laser Repetition Rate (Max.) | 30Hz |
Laser Energy Stability | ≤ 0.8% |
Laser Pulse Duration | 29 ± 5 ns |
Line Beam Size | 380 mm X 0.3 mm |
Stage Type | 4.5G Single Plane Air Bearing X, Y Stage with Z & R axis |
