인쇄전자 대면적 복합측정기
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인쇄전자 대면적 복합측정기
유연 인쇄 전자 소자 생산을 위한 인쇄물, 인쇄용 제판 혹은 인쇄용 롤의 계측 및 검사 미세패턴의 형상 측정 : 패턴 폭 및 두께 측정 Substrate의 박막 두께 측정 인쇄전자용 롤의 형상 및 롤에 각인된 패턴 측정
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Feature
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Process Performance
· 열변형이 적은 Invar 스케일 적용
· 공기베어링 및 리니어 모터 적용으로 정밀 구동 가능
· 멀티 센서를 활용하여 복합 측정 가능
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Productivity / Hardware
· 유연 인쇄 전자 소자 특화된 계측/검사 방법, 알고리즘
· 장비/공정 보정 및 모니터링 (In-line, Off-line)
· CDU/Overlay Budget Breakdown 및 장비 /공정 개선 Feedback
· 인쇄 공정 Defect 분류 및 Defect 검출 Solution
· 고객 맞춤 Hardware / UI Software
Specifications
Parameter | Categorization | Specification |
| 패턴 위치 계측 | XYZ Repeatability | 2.5um |
| XYZ Accuracy | 5um | |
| Rotary Repeatability | 2.5um | |
| Rotary Accuracy | 5um | |
| 패턴 형상 계측 | Lateral Resolution | 0.5um |
| Vertical Resolution | 0.1um | |
| 두께 계측 | Repeatability | 10% |
| Resolution | 10um | |
| 롤 형상 계측 | Roundness & Cylindricity | 2.5um (선 길이 환산) |
| Diameter Repeatability | 2.5um | |
| Diameter Accuracy | 5um | |
| Throughput | XYZ Settling Time | 500ms |
| Rotary Settling Time | 500ms |
■ 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)
