정밀 이송 스테이지
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정밀 이송 스테이지
인공위성에 사용되는 탑재체들이 정상 기능을 발휘하기 위하여 부품 조립 및 시스템 레벨에서의 변화를 정밀하게 측정 가능한 스테이지
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Feature
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Process Performance
· Moving Stroke : 2000mm
· Operating Resolution : 0.1㎛
· Accuracy : 2㎛
· Repeatability(@3σ) : < 2㎛
· Max Velocity : 200mm/s
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Productivity / Hardware
· 석정반 면을 따라 이동하는 스테이지와 스테이지 상부센서(Theodolite)가 대상체를 측정
· Granite Base Frame
· Pitch , Yaw , Roll 2” 이내
· 고객 맞춤 Hardware / UI Software
Specifications
Description | Specifications | |
Axial | Horizontal | Vertical |
Moving Stroke | 2000mm | 600mm |
Operating Resolution | 0.1um | 0.1um |
Accuracy | 2um | 2um |
Repeatability | <2um | <2um |
Max Velocity | 200mm/s | 100mm/s |
Perpendicularity of travelling axes | 2" | 2" |
Angular Stability | 2" | 2" |
Scale | Zerodur Glass Ceramic | Zerodur Glass Ceramic |
Max Velocity | 200mm/s | 100mm/s |
Driving Mechanism | Harmonic Motor Rack & Pinion | Harmonic Motor Rack & Pinion |
Mass | 500kg | |
■ 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)
