웨이퍼 카세트 측정기
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웨이퍼 카세트 측정기
반도체 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어의 CD를 비접촉 방식으로 측정
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Feature
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Process Performance
· Machine Dimension : 1330mm X 1230mm X 1700mm
· Machine Weight : Approx. 1000kg
· Electric Power : 3Φ 220V 60Hz 10KVA
· Clean Air : Over 6kg
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Productivity / Hardware
· 레이저 변위 센서와 CCD 카메라 및 LED 링 조명부로 구성된 측정 헤드 설계
· 폭넓은 초점거리를 제공하는 Telecentric Lens 채택으로 TACT 타임 최소화
· 웨이퍼 캐리어 도어 자동 개폐 시스템
· 연속 회전 테이블 적용으로 다양한 방향에서의 측정 가능
· 기구 오차를 점검하기 위한 장비 점검 지그 제공
· 고객 맞춤 Hardware / UI Software
Specifications
Parameter | Categorization | Specification |
Carries Size | 300mm wafer carrier | |
Travel Length | Head | 450mm X 100mm X 400mm |
Carrier | 360° continuous | |
Movement Resolution | 0.1um | |
Max Velocity | Head | 250mm/s |
Carrier | 90°/2s | |
Machine Accuracy | Head | 3±L/300 (um, L:mm) |
Carrier | 15arc.sec | |
Measuring Repeatability | 50um | |
■ 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)
