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나노 임프린팅
나노 임프린팅

나노 스케일의 스탬프를 원형 롤에 장착하여 하부 롤과의 압력 및 열을 가하여 유연성 필름 기판에 미세 패턴을 직접 형성하는 장비

담당자 연락처

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구입문의
Feature
  • Process Performance

    · Unwinder Module, Imprinting Module, Rewinder Module로 구성

    · Unwinder, Rewinder Module : Web Guide System인 EPC를 장착하여 Tension Control를 통해 Web의 일정한 장력 유지

    · Imprinting Module : 표면 이물 제거

      – Web Heating

      – 미세패턴 형성

      – Web Cooling의 Process 진행

    · 형성된 패턴을 영상으로 보기 위해 Line Scan Camera 장착

  • Productivity / Hardware

    · Roll-to-Roll방식으로 미세패턴을 유연성 기판에 직접 각인 함으로써 공정 단계가 획기적으로 감소

    · 유연성 금속 스탬프를 이용하여 마이크로 및 나노 크기 패턴을 자유롭게 각인 가능

    · 열 및 압력 가압롤을 사용하여 높은 각인율을 구현

    · 기존 인쇄 및 각인공정에 의한 패터닝보다 선폭의 형상이 균일 (광학적 특성 우수)

Specifications


Parameter
Specification
Remark
Size
4100 X 1000 X 1700mm

Weight
5톤

시편
Web 폭
400mm

Web 이송 속도
10mm/s

바닥에서 부터 인쇄면 높이
1200mm

구동
Unwinder & Rewinder
AC Motor + 감속기(20:1) + 앵귤러콘택트베어링
2축
Imprinting Roll (회전)
AC Motor + 감속기(100:1) + 앵귤러콘택트베어링
1축
Imprinting Roll (상하 이송 및 틸팅)
Harmonic Motor + Ball Screw+ LM Guide
2축


고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)