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고속, 고정밀 회전 분할 시스템 3 Type (Air Bearing, Ball Retainer, Roller Retainer)
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Feature
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Process Performance
· Radial Runout : 1um
· Axial Runout : 1um
· Maximum Speed : 협의 후 제작
· Maximum Acceleration : 협의 후 제작
· Maximum Load : 협의 후 제작
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Productivity / Hardware
· 3 Type · Air Bearing : 저하중, 고정밀
· Ball retainer : 중하중, 고정밀
· Roller retainer : 고하중, 고정밀
· 초정밀한 회전 성능
· Ball 또는 Roller 시 중공 Type 가능
· 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)
Specifications
| Parameter | X Axis | θ-Axis 1 | θ-Axis 2 |
| Stroke | 15 mm | ±360° | 0-180° |
| Payload | 30N | 10KG | |
| Flatness | ±2um@F.T | ||
| Straightness | ±2um@F.T | ||
| Eccentricity | ±1.5um | ±1.5um | |
| Tilt Error or Wobble | 1" | 1" | |
| Resolution | ≤15nm | 0.2" | 0.2" |
| Position Accuracy | ≤±1um | ±3" | ±3" |
| Repeatability | ≤±0.5um | ±2" | ±2" |
| Stability | <50nm | ||
| Velocity | 300mm/s | 720deg/s | 360deg/s |
| Acceleration | 0.2G | 3000deg/s2 | 3000deg/s2 |
| Settling Time | ≤0.5s | ≤0.1s | ≤0.1s |
Pitch | ≤10" | ||
| Roll | ≤10" | ||
| Run-out (Axial & Radial) | 1um | 1um | |
| Mass | 협의 가능 | ||
