박막코팅용 Mini Coater
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박막코팅용 Mini Coater
PR (Photo Regist), 은나노와이어 등 코팅액을 시편에 균일하게 분사하여 코팅 분사량 및 스테이지 속도 제어를 조절하여 코팅 두께 조절
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온라인으로 구입문의를 남기시면 보다 빠르고 신속한 대응이 가능합니다.
Feature
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Process Performance
· Y-axis : Granite Guide + Air Bearing
- Granite Flatness : < ±3um
- Air Bearing Type : Single Orifice Type · Vacuum Chuck
- Chuck Flatness : ±5um over full area
- Chuck Vacuum Pressure : 600mmHg
· LVDT Sensor
- Measuring Range : ±1mm
- Accuracy : 1um
- Repeatability : 0.15um
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Productivity / Hardware
· 2가지 시편(200mm X 100mm, 50mm X 50mm)을 박막 코팅
· 정밀 이송용 스테이지 활용한 박막 코팅이 가능하며, 실시간으로 모니터링하며, 능동적으로 작동 가능
· 에어베어링 기반의 정밀스테이지
· Z축의 이중구동으로 연속적이 제품 투입에도 안정적인 좌우 Tilt 적용 가능
· 코팅액 유량 정밀 제어 Syringe 및 균일 분사 노즐
Specifications
Categorization | Specification | |
Travel Length | X | 13mm |
Y | 350mm | |
Z | 50mm | |
Resolution | X | 0.01um |
Y | 0.05 um | |
Z | 0.05um | |
Accuracy | Y | ±1.0um @ F.S. |
Z | ±3.0um @ F.S. | |
Max. Velocity | Y | 200mm/s |
Z | 15mm/s | |
| Velocity Ripple | Y |
±0.05% @ 100mm/s ±0.5% @ 5mm/s |
X,Z | Not determined | |
Moving Mechanism | X | Manual Stage |
Y | Linear Motor + Air bearing | |
Z | AC Motor + Harmonic Gear + Ball Screw | |
Chuck Flatness | ±5um over full area | |
고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)
