3차원 정렬 시스템
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3차원 정렬 시스템
위성 탑재체를 정밀하게 측정하고 정렬하기 위한 시스템
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Feature
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Process Performance
· 단일 석정반 크기 : 9000mm X 3000mm X 500mm
· 제진 성능 : 95% Vibration Suppression over 3Hz
· Moving Post 각도 정밀도 : 4” 이내
· 레이저를 이용한 Moving Post 위치 제어를 통해 위치 정확도 향상
· Master Mirror 평면도 : λ/4 이하 (Peak to Peak)
· Master Mirror 각도 정밀도 : 2” 이내
· Pitch , Yaw , Roll 2” 이내
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Productivity / Hardware
· 4개의 Theodolite를 이용하여 측정 대상의 수직, 수평 각도 및 정렬 상태 측정
· 측정 대상은 석정반 위에 지그를 이용하여 고정
· 환경 영향 최소화를 위해 석정반 하단 제진 시스템 설치
· 정반 양 코너에 설치된 Master Mirror를 이용하여 Theodolite Calibration 시행
Specifications
■ 장비 사양
| Parameter | Horizontal Axis | Vertical Axis |
| Stroke | 장축: 5m / 단축: 2.5m | 620mm |
| Resolution | 0.1um | 0.5um or 0.1um |
| Accuracy | 장축: 5m / 단축: 2.5m | 1um (after Compensation) |
| Repeatability | 2um | 1um |
| Maximum Velocity | 200mm/s | 100mm/s |
| Maximum Acceleration | 500mm/s2 | 300mm/s2 |
| 각도 안정성 | 2" | 2" |
| Post 간 각도 에러 | 4" 이내 | |
■ Master Mirror 사양
| Parameter | Categorization | Specification |
| Post 위치 | 석정반 대각 모니터에 2개 설치 | |
| Mirro | Meterial | Fused Silica |
| Size | 620mm X 120mm X 120mm | |
| Squareness | 3.5" (2um@120mm) 이하 | |
| Flatness | λ/3 @ 100mm X 620mm λ/8 @ 50mm X 620mm Center area, where λ=633nm | |
| Reflectivity | 94% 이상 | |
■ 제진대 사양
| Parameter | Specification |
| 구성 | Active type 4ea Passive type 10ea |
| 제진 성능 | 95% noise reduction for the above 3Hz vibration |
| 진동 등급 | VC-E 이하 |
| Max Payload | 60톤 이하 |
