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복잡한 형상을 갖는 가공물의 치수 정밀 측정 광학 부품을 포함한 초소형 부품의 치수 정밀 측정
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Feature
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Process Performance
· 6자유도 측정을 위한 6개의 레이저 스케일 적용
· 아베 오차 “0” 실현을 위한 최적 설계
· Plane Mirror 적용
· 온습도,기압 센서 적용으로 능동형 보정 가능
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Productivity / Hardware
· 대칭형 고강성 구조로 안정성 확보
· 기상 오차에 대한 고려
· 고정도 프로브 및 광학계 탑재
· 구동부와 이송차의 유연한 연결 구동
· 터치식과 광학식 측정이 가능
· 고객 맞춤 Hardware / UI Software
Specifications
| Parameter | Categorization | Specification |
| Type & Base | Window Type & Granite | |
| Scale | Laser Interferometer Encoder (6ea) | |
| Travel Length | X | 300mm |
| Y | 300mm | |
| Z | 50mm | |
| Measuring Sensor | Touch Probe | Renishaw PH6M + TP7M |
| Optical Probe | CCD SONY 1/1.8 2Mega Pixel + NAVITAR Tube Lens (Object Lens) | |
| Weight | 2.5 ton | |
| MPE | E1 (X&Y) : 0.15 um E1 (Z) : 0.15um E3 : 0.3um | |
■ 고객 사양에 따른 대응 가능 (Customize)
